اخیرا شرکت ایکس ای آی ساینتیفیک (XEI Scientific) پتنتی را در حوزه ساخت دستگاه تمیزکننده ستون‌های خلاء میکروسکوپ الکترونی به ثبت رسانده است. این دستگاه مجهز به سیستم پلاسما بوده که با تولید رادیکال‌های آزاد می‌تواند آلایندگی موجود در میکروسکوپ الکترونی و دیگر دستگاه‌های دارای خلاء بالا را از بین ببرد.